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離子減薄儀的原理和操作說(shuō)明

點(diǎn)擊次數(shù):2925 更新時(shí)間:2022-08-09
離子減薄儀為一種在材料科學(xué)領(lǐng)域普遍應(yīng)用的儀器。離子減薄儀有著較快的制樣速度??梢砸暂^小的耗費(fèi)將高質(zhì)量的TEM樣品制備出來(lái)。該儀器可以快捷方便地進(jìn)行操作,低能量離子槍功能為其所配備,對(duì)能量敏感性樣品的減薄特別適合。液氮冷臺(tái)為其所配備,對(duì)溫度敏感性樣品的減薄特別適合。陶瓷、半導(dǎo)體、金屬和合金等多種材料的透射電子顯微鏡( TEM)樣品的制備為該儀器的主要用途。
 
氬氣的電離采用高壓來(lái)進(jìn)行,在電場(chǎng)是作用下,電離后的氬離子對(duì)樣品表面進(jìn)行轟擊。在氬離子的持續(xù)轟擊下,樣品慢慢減薄,一直到使透射電鏡觀察要求滿足,此即為離子減薄儀的工作原理。
 
減簿及觀察:
 
1、對(duì)所需的減薄時(shí)間進(jìn)行設(shè)定。
2、對(duì)工作電壓進(jìn)行設(shè)定(通常設(shè)定成4或者5Kev)
3、對(duì)離子槍工作模式進(jìn)行設(shè)定(通常設(shè)定成雙離子束調(diào)變)
4、對(duì)左右離子槍工作角度進(jìn)行調(diào)整(通常為±4度)
5、將氬氣工作模式調(diào)整為自動(dòng)氣體
6、對(duì)載臺(tái)轉(zhuǎn)速進(jìn)行設(shè)定(通常是3RPM)
7、對(duì)啟動(dòng)進(jìn)行點(diǎn)擊開(kāi)始工作。
8、在工作期間能夠?qū)iewing 選項(xiàng)進(jìn)行點(diǎn)擊,通過(guò)CCD來(lái)對(duì)樣品減薄情況進(jìn)行觀察。
9、樣品穿孔后能夠?qū)Φ碗妷哼M(jìn)行更換繼續(xù)減薄,一直到薄區(qū)良好。


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